TF lab 2020SR單點(diǎn)非接觸式晶片電阻測(cè)試儀#技術(shù)規(guī)格
更新時(shí)間：2023-11-21
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EddyCus TF lab 2020SR – 非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測(cè)試儀
EddyCus TF lab 2020SR 是一種非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測(cè)量系統(tǒng)。該設(shè)備包含一個(gè)渦流傳感器組，可將微弱電流感應(yīng)到導(dǎo)電薄膜和材料中。樣本中的感應(yīng)電流會(huì)產(chǎn)生與測(cè)量對(duì)象的薄層電阻相關(guān)的電磁場(chǎng)。該技術(shù)獨(dú)立于表面特征或形態(tài)。此外，它不需要任何類(lèi)型的充分樣品接觸或準(zhǔn)備，例如從 2 點(diǎn)或 4 點(diǎn)探針測(cè)試（2PP、4PP）或霍爾效應(yīng)或范德堡測(cè)量中得知。它既不需要設(shè)置測(cè)試結(jié)構(gòu)，也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響。此外，測(cè)量不會(huì)對(duì)測(cè)試的薄膜產(chǎn)生物理影響。由于存在機(jī)械磨損，渦流儀器具有較長(zhǎng)的使用壽命。它獨(dú)立于接觸質(zhì)量和高速，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和準(zhǔn)確性，有利于研發(fā)和測(cè)試實(shí)驗(yàn)室中各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。 EddyCus 工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導(dǎo)出功能的 SURAGUS 軟件驅(qū)動(dòng)，也可以由 SURAGUS 軟件開(kāi)發(fā)套件驅(qū)動(dòng)的客戶軟件驅(qū)動(dòng)。
軟件和設(shè)備控制
1、非常人性化的軟件
2、直觀的觸摸顯示屏導(dǎo)航
3、實(shí)時(shí)測(cè)量薄層電阻和層厚
4、軟件輔助手動(dòng)映射選項(xiàng)
5、各種數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出選項(xiàng)
EddyCus TF lab 2020SR的數(shù)據(jù)表
測(cè)量技術(shù)：非接觸式渦流傳感器
基質(zhì)：箔、玻璃、晶片等。
基底面積：8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面開(kāi)口)
最大值樣品厚度/傳感器間隙：3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的樣品確定)
金屬薄膜(如銅)的厚度測(cè)量范圍：2納米–2毫米(根據(jù)薄層電阻)
設(shè)備尺寸(寬高比)：11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米
重量：10公斤
更多可用功能：薄層電阻測(cè)量/金屬厚度監(jiān)控器
VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | |||||
Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.1 – 10 | 0.1 – 100 | 10 – 2000 | 1,000 – 200,000 |
Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 3% | ± 3 – 5% | ||
Repeatability (2σ) | < 0.3% | < 0.5% | < 0.3% | ||
VLSR - 極低薄層電阻 , LSR - 低薄層電阻 , MSR - 中等薄層電阻 , HSR - 高薄層電阻 , VHSR - 非常高薄層電阻
